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平面光波導(dǎo)器件及應(yīng)用分析

[摘要]  分析了平面光波導(dǎo)器件的關(guān)鍵技術(shù)及其應(yīng)用情況.介紹了平面光波導(dǎo)器件的幾種不同種類,包括硅基體沉積二氧化硅光波導(dǎo),鈮酸鋰鍍金屬膜光波導(dǎo),聚合物(Polymer)光波導(dǎo)等組成.利用平面光波導(dǎo)技術(shù),可制造出波分復(fù)用器、解復(fù)用器、光開關(guān)、耦合器、陣列波導(dǎo)光柵等各種不同的集成光學(xué)器件.
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