預見2020：2020年中國離子注入機產業(yè)全景圖
2020-08-14 14:24
前瞻網(wǎng)
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產業(yè)鏈——下游應用廣泛
離子注入機是高壓小型加速器中的一種，是由離子源得到所需要的離子，經(jīng)過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流，用做半導體材料、大規(guī)模集成電路和器件的離子注入，還能用于太陽能電池等的制造。
離子注入機也是集成電路制造前工序中的關鍵設備，半導體為改變載流子濃度和導電類型需要對半導體表面附近區(qū)域進行摻雜，而離子注入與常規(guī)熱摻雜工藝相比可對注入劑量、注入角度、注入深度、橫向擴散等方面進行精確的控制，使得離子注入在半導體制造中被廣泛應用。
產業(yè)政策——離子注入機成關鍵研發(fā)設備
從政策環(huán)境上來看，我國對于離子注入機行業(yè)較為重視。其主要表現(xiàn)在將離子注入機在多項政策中列為推薦發(fā)展的關鍵設備。如《國家集成電路產業(yè)發(fā)展推薦綱要》中明確提出，要離子注入機作為關鍵設備進行研發(fā)。；《首臺（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄》（2019年版）也將中束流、大束流、高能離子注入機等離子注入機列入了名錄。
設備簡析——設備類型因具體應用而異
根據(jù)離子束電流和束流能量范圍，一般可以把離子注入機分為低能大束流離子注入機、高能離子注入機和中低束離子注入機。這些離子注入機的運行原理基本萊斯，但是注入計量范圍和具體在工藝中的主要應用各有不同，其具體如下：
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